紫外線ランプより放出照射エネルギーとそれにより生成された オゾンでワークにダメージを与えること無く、汚れを除去する装置です。
＜　用途　＞
●液晶ガラス、セラミック基盤、磁気ヘッド、クロス膜などのクリーニング ●Siウエハー、GaAsウエハー、レンズ、各種ミラー、太陽電池パネル等のクリーニング、 密着性の向上　●FPD/PDPのクリーニング　●ウエハーの酸化層の増大 ●バイオケミカルの殺菌　●ダイシングテープの密着性の低減