セミオート式テープマウンター STM-12D

テープ送りとウエハーマウントを自動化にし、再現性と操作性を重視した装置です。 均一なローラー圧、及び速度調整により、一般、極薄ウエハーからバンプ付きウエハーに 至まで広範囲のマウントが可能です。 又、非接触式、角型ワークへの対応も可能です(オプション)。 超寿命、特殊カッターの採用により一般PVC、UVはもとより硬質PET系テープへの対応も 可能です。
< 特 徴 > ・貼付の自動化、品質安定化を実現
・貼付圧力の数値設定&モニター
・貼付速度の数値設定&モニター
・ステージ温度の数値設定&モニター
・真空の数値モニター
・エアー圧力の数値モニター
・ウエハー単体で12インチ対応
・ダイシングフレームで8インチ対応
・PETを含む各種テープ対応
・コンパクト設計、卓上型

仕   様
ワークφ12インチウェハーまで
または、ダイシングフレームで8インチまで
貼付テープ各種ロールテープ
ワークステージテフロンコート全面接触型、真空吸着式
ワーク位置決め目視合わせ
ワークステージ温度室温〜60゚C
貼付ローラー圧力可変 最大12Kg/ローラー
円カッターウェハー外周カット
または、ダイシングフレーム上カット
直線カッターロール側との切り離し
テープセパレーター自動巻取り
装置寸法850(W)x550(D)x470(H)
装置重量50Kg
ユーティリティ
真空-60kPa以下
ドライエアー0.3〜0.6MPa
電源AC100V 50/60Hz 10A 3Pプラグ

付 属 品
取扱説明書
円カッター替刃
直線カッター替刃