|
マニュアル式テープマウンター HTM-08MD |
|---|
均一なローラー圧で気泡を完全に除去し、ダイシング時にチップのフライング等のトラブルを回避できます。
一般ＰＶＣ〜各種ＵＶテープ、及び硬質ＰＥＴ材に至まで他品種のテープに多対応出来ます。
又、非接触式チャックテーブル（オプション）の対応も可能です。耐久性を重視したサークルカッターの採用、
開閉カバーの安全対策、及び操作性を重視して設計されております。
| ＜ 特 徴 ＞
|
・高温貼付対応機種
・「貼付ミス」のない貼付方式採用
・ＰＥＴテープ対応
・ウエハー外周の円カット方式
・貼付ローラーに圧力可変機構採用
・吸着固定の確認用に真空計を標準装備
|
|
 |
| 仕 様 |
|---|
| ワーク | φ8インチまで 要お打合せ |
貼付テープ | 各種ロールテープ 要お打合せ |
ワークステージ | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 |
ワーク位置決め | ケガキ線による目視合わせ方式 |
ワークステージ温度 | 常温〜60℃ |
貼付ローラー | シリコンゴム |
貼付圧力 | 圧力可変 最大10s/ローラー |
円カッター | ウエハー外周のテープカット |
直線カッター | ロール側との切り離し |
テープセパレーター | 自動巻取り機構 |
装置寸法 | 480(W)×635(D)×360(H)mm |
装置重量 | 20s |
|
| ユーティリティ |
|---|
真空
又は、ドライエアー | -60kPa以下 φ6クイック継手
0.4〜0.5MPa φ6クイック継手 |
電源 | AC100V 50/60Hz sA 3Pプラグ |
|
| 付 属 品 |
|---|
| 取扱説明書 |
| 直線カッター替刃 | 1ケース/2枚入り |
| 円カッター替刃 | 1ケース/40枚入り |
|
|
