ウエハー拡張装置 EXM-06M

 テープ上(ダイシング済み)にマウントされたウエハーを機械的に拡張する事によって チップのピックアップを容易にする為の装置です。拡張率、及び拡張スピードの可変が 可能で、拡張後の不要なテープの切断機構も装備されています。  又、ヒーター内蔵型ステージで、テープを軟化させ、スムースなエキスパンドが可能です。 テーブルトップ型の安価な装置です。
< 特 徴 > ・簡単操作
・カッター機構装備
・コンパクト構造
・圧力計装備
・6インチダイシングフレーム対応
・各種テープ対応
・ダブルリング対応

仕 様
ワークφ8インチまで
フレーム6インチダイシングフレームまで
テープ各種テープ 任意
ステージ駆動ドライエアー
ステージ上昇速度無段階調節
ワークステージ温度室温〜60℃
ワーク位置決め目視合わせ
拡張リング弊社製ダブルリング
カッターリング直下のカット
装置寸法330(W)×420(D)×360(H)mm
装置重量15s
ユーティリティ
ドライエアー0.4MPa以上 φ6o継手
電源AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ
付 属 品
取扱説明書
カッター替刃
グリップリング
 耐久性に優れた導電性樹脂を採用しております。また、MSDS(製品安全データーシート)も 完備しております。
仕 様
型 番内外区分寸法
DR-4 内リング内径:140o 外径:146o
外リング内径:146o 外径:152o
DR-5 内リング内径:170o 外径:178o
外リング内径:178o 外径:186o
高さはすべて 6o です。