ウエハー拡張装置 EXM-06M
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テープ上(ダイシング済み)にマウントされたウエハーを機械的に拡張する事によって
チップのピックアップを容易にする為の装置です。拡張率、及び拡張スピードの可変が
可能で、拡張後の不要なテープの切断機構も装備されています。
又、ヒーター内蔵型ステージで、テープを軟化させ、スムースなエキスパンドが可能です。
テーブルトップ型の安価な装置です。
< 特 徴 >
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・簡単操作
・カッター機構装備
・コンパクト構造
・圧力計装備
・6インチダイシングフレーム対応
・各種テープ対応
・ダブルリング対応
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仕 様 |
ワーク | φ8インチまで |
フレーム | 6インチダイシングフレームまで |
テープ | 各種テープ 任意 |
ステージ駆動 | ドライエアー |
ステージ上昇速度 | 無段階調節 |
ワークステージ温度 | 室温〜60℃ |
ワーク位置決め | 目視合わせ |
拡張リング | 弊社製ダブルリング |
カッター | リング直下のカット |
装置寸法 | 330(W)×420(D)×360(H)mm |
装置重量 | 15s |
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ユーティリティ |
ドライエアー | 0.4MPa以上 φ6o継手 |
電源 | AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ |
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グリップリング
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耐久性に優れた導電性樹脂を採用しております。また、MSDS(製品安全データーシート)も
完備しております。
仕 様 |
型 番 | 内外区分 | 寸法 |
DR-4 |
内リング | 内径:140o 外径:146o |
外リング | 内径:146o 外径:152o |
DR-5 |
内リング | 内径:170o 外径:178o |
外リング | 内径:178o 外径:186o |
高さはすべて 6o です。
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