ウエハー表面研磨、ケミカル処理、搬送、保管等の為にマル抜きテープ(ロール状)を 自動的に精度良く、連続的にウエハーに張り付ける装置です。 均一なテープの送り速度、及びローラー圧の数値設定が用意で、かつモニターにて認識が可能。 6〜8、及び12インチウエハー用機種の対応が可能です。