セミオート式プリカットテープ貼り付け装置 STM-12P/16P

 ウエハー表面研磨、ケミカル処理、搬送、保管等の為にマル抜きテープ(ロール状)を 自動的に精度良く、連続的にウエハーに張り付ける装置です。 均一なテープの送り速度、及びローラー圧の数値設定が用意で、かつモニターにて認識が可能。
 6〜8、及び12インチウエハー用機種の対応が可能です。
< 特 徴 > ・プリカットテープ専用貼付装置
・セミオートで簡単操作
・貼付の自動化、安定化を実現
・貼付圧力の数値設定&モニター
・貼付速度の数値設定&モニター
・真空、圧力の数値モニター
・各種テープ対応

仕   様
 SMT-12PSMT-16P
ダイシングフレーム最大8インチ用最大12インチ用
ワーク単体φ12インチまでφ400o程度まで
テープ各種プリカットテープ
ワークステージテフロンコート全面接触式
ワーク位置決め目視合わせ
ワークステージ温度室温〜60゚C
貼付ローラー圧力可変 最大12Kg/ローラー
テープセパレーター自動巻き取り
装置寸法850(W)x650(D)x470(H)1,000(W)x750(D)x470(H)
装置重量50Kg70Kg
ユーティリティ
ドライエアー0.4MPa以上 φ6o継手
電源AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ

付 属 品
取扱説明書