| 仕 様 |
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| ワーク | φ１２インチウェハーまで
または、ダイシングフレームで８インチまで |
| 貼付テープ | 各種ロールテープ |
| ワークステージ | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 |
| ワーク位置決め | 目視合わせ |
| ワークステージ温度 | 室温〜60ﾟC |
| 貼付ローラー | 圧力可変 最大12Kg／ローラー |
| 円カッター | ウェハー外周カット
または、ダイシングフレーム上カット |
| 直線カッター | ロール側との切り離し |
| テープセパレーター | 自動巻取り |
| 装置寸法 | 850(W)x550(D)x470(H) |
| 装置重量 | 50Kg |
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| ユーティリティ |
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| 真空 | -60kPa以下 |
| ドライエアー | 0.3〜0.6MPa |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A 3Pプラグ |
| 付 属 品 |
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| 取扱説明書 |
| 円カッター替刃 |
| 直線カッター替刃 |
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