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マニュアル式ＢＧテープマウンター HTM-08M/12M |
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ウエハーの裏面研削時、ケミカル処理、移送、保管などの目的で
ウエハーの費用面に保護テープを貼るためのマニュアル式テープ張り付け装置です。
特殊カッターの採用により演習、及びオリフラ部においては高精度の切削が得られます。
６〜８、及び１２インチウエハー対応可。又、各種ＢＧテープ対応可。
| ＜ 特 徴 ＞
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・高温貼付対応機種
・「貼付ミス」のない貼付方式採用
・ＰＥＴテープ対応
・ウエハー外周の円カット方式
・貼付ローラーに圧力可変機構採用
・吸着固定の確認用に真空計を標準装備
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| 仕 様 |
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| ワーク | φ8インチまで 要お打合せ |
貼付テープ | 各種ロールテープ 要お打合せ |
ワークステージ | テフロンコート全面接触型、真空吸着式 |
ワーク位置決め | ケガキ線による目視合わせ方式 |
ワークステージ温度 | 常温〜180℃ |
貼付ローラー | シリコンゴム |
貼付圧力 | 圧力可変 最大10s/ローラー |
円カッター | ウエハー外周のテープカット |
直線カッター | ロール側との切り離し |
テープセパレーター | 自動巻取り機構 |
装置寸法 | 480(W)×635(D)×360(H)mm |
装置重量 | 20s |
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| ユーティリティ |
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真空
又は、ドライエアー | -60kPa以下 φ6クイック継手
0.4〜0.5MPa φ6クイック継手 |
電源 | AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ |
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| 付 属 品 |
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| 取扱説明書 |
| 直線カッター替刃 | 1ケース/2枚入り |
| 円カッター替刃 | 1ケース/40枚入り |
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