マニュアル式BGテープマウンター HTM-08M/12M

 ウエハーの裏面研削時、ケミカル処理、移送、保管などの目的で ウエハーの費用面に保護テープを貼るためのマニュアル式テープ張り付け装置です。 特殊カッターの採用により演習、及びオリフラ部においては高精度の切削が得られます。
 6〜8、及び12インチウエハー対応可。又、各種BGテープ対応可。
< 特 徴 > ・高温貼付対応機種
・「貼付ミス」のない貼付方式採用
・PETテープ対応
・ウエハー外周の円カット方式
・貼付ローラーに圧力可変機構採用
・吸着固定の確認用に真空計を標準装備

仕 様
ワークφ8インチまで 要お打合せ
貼付テープ各種ロールテープ 要お打合せ
ワークステージテフロンコート全面接触型、真空吸着式
ワーク位置決めケガキ線による目視合わせ方式
ワークステージ温度常温〜180℃
貼付ローラーシリコンゴム
貼付圧力圧力可変 最大10s/ローラー
円カッターウエハー外周のテープカット
直線カッターロール側との切り離し
テープセパレーター自動巻取り機構
装置寸法480(W)×635(D)×360(H)mm
装置重量20s
ユーティリティ
真空
又は、ドライエアー
-60kPa以下 φ6クイック継手
0.4〜0.5MPa φ6クイック継手
電源 AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ
付 属 品
取扱説明書
直線カッター替刃1ケース/2枚入り
円カッター替刃1ケース/40枚入り